10215 我如古 のブログ

クリーンルームの構造
今日はこのようなことについて調べてみました。

空気中の塵埃を除去するため、超高性能エアフィルタ（HEPAなど）を通した空気を送り込み、そして室内から吸い込んだ空気を排気または循環させる。 外部からの塵埃の流入を防止するため、室内気圧を外気圧より5?10Pa程度上げ、陽圧とする。 ただしハザード用途の場合は若干下げ、陰圧とする。 冷暖房も必要である。 CR内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性などにも考慮が必要である。 また、用途に応じて気流の制御が行われる。

一方向流
気流が部屋全体で一定の方向に流れていく気流の方式。さらに、天井吹き出しで床面一体の吸い込みの垂直流と、壁面吹き出しの逆壁面の吸い込みの水平流に分類される。塵埃は気流に沿って押し出されるように除去され、レベルの高い清浄度が得られる。層流と呼ばれることもあるが、流体力学等で用いられる層流とは意味が異なる。

非一方向流
気流が部屋の中で複雑に流れていく気流方式。塵埃はCR内で清浄空気によって希釈される形で排除される。換気風量は必要な清浄度と換気回数(換気風量を室内容積で割った値)によって決められる。一方向流方式と比べ清浄度は低いが、コストの点でメリットがあるため広く用いられる。
更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。 また、特に清浄を要求される小さな領域をビニールカーテンなどで覆って清浄度を上げる工夫も行われる。

引用『ウィキペディア（Wikipedia）』